真空ポンプ修理や電子部品（トランス）製作・ヘリウムリーク検査は株式会社ソナスリンクへ
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弊社では真空設備や半導体製造装置に関連する「真空機器の販売並びに各種の技術サービス」を行っております。
真空ポンプや真空計、真空バルブ、フィルター、配管部品について、お客様のニーズや条件を確認し、ご使用設備に適合する機器をメンテナンス性まで含めて考慮する「お客様本位の真空機器の選定」とカタログには無い一品物の「部品加工」まで、真空技術に関連した真空コンポーネントの販売を行っております。
また、必要に応じて部品の取付作業（交換作業）や、リーク検査などの技術サービスも出張対応しております。
対応するスタッフは「真空技術」や「真空機器」の知識だけではなく、数多くの「設備導入の現場経験」や「ガスの知識」も有しておりますので、「反応性ガス」や「特殊高圧ガス」を導入する真空設備への機器選定も対応可能です。
また、真空装置メーカーと連携した新規装置や設備導入にも対応しております。
ご提案や導入後の扱いなど、お客様から一定のご評価をいただいており、
「何を選べばいいのか分からない。」
「真空の設備を導入または改修したいが、どこから手を付ければ良いのか悩んでいる」
「○○の相当品で早く入手できるものを探している」 など
日々、様々なお問い合わせを頂いており、企業様から大学をはじめとした研究機関に至るまで、リピート注文を頂戴しております。
弊社では国内外の真空機器メーカーの製品について多数の取り扱いがございます（詳しくは「取扱製品について」をご確認願います）
幅広い選択肢を用意し、ご相談内容を明確にしながら疑問点や不安な要素をクリアにしてお話をを進められるよう心掛けておりますので、お気軽にお問い合わせください。
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主な取扱製品と対応メーカーは以下の通りです。
装置に関しては、直接お問い合わせください。
| 製品名 | 新品 | 中古 | 加工 | 修理 |
|---|---|---|---|---|
| 真空ポンプ | 〇 | 〇 | × | 〇 |
| 真空計 | 〇 | 〇 | × | 〇 |
| バルブ | 〇 | 〇 | × | △ |
| フィルター | 〇 | × | × | × |
| フランジ | 〇 | × | 〇 | × |
| 接続継手 | 〇 | × | 〇 | × |
| チャンバー | 〇 | × | 〇 | △ |
| 特注治具 | 〇 | × | 〇 | × |
| 樹脂部品 | 〇 | × | 〇 | × |
＊上記以外の製品につきましても、お気軽にご相談ください。
【真空ポンプメーカー】
ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)・樫山工業(KASHIYAMA)・エドワーズ(EDWARDS)・アルバック(ULVAC)・キヤノンアネルバ(ANELVA)・大亜真空(DIAVAC)・佐藤真空(PHIL)・大阪真空機器製作所(OSAKA VACUUM)・島津製作所(SHIMAZU)・荏原製作所(EBARA)・アネスト岩田(ANEST)・アジレントテクノロジー(Agilent)・ブッシュ(BUSCH)・ライボルト(Leybold)
【真空計メーカー】
ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)・キヤノンアネルバ(ANELVA)・大亜真空(DIAVAC)・エドワーズ(EDWARDS)・アルバック(ULVAC)・インフィコン(INFICON)・エムケーエス（MKS）
【真空バルブ・真空継手・オイルメーカー】
VAT・フジテクノロジー・コム・大亜真空(DIAVAC)・キヤノンアネルバ(ANELVA)・エドワーズ(EDWARDS)・アルバック(ULVAC)・佐藤真空(PHIL)・大阪ラセン管工業(フレキ)・ソルバーグ(真空フィルター)・バックスSEV・松村石油
その他多数のメーカー様
※各メーカーの分類は代表的な商材を基準に表記しております。
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よくご相談頂く内容として、「○○を選んで欲しい」「真空排気用ユニットを考えて欲しい」「今持っている真空ポンプのメンテナンスサイクルを伸ばしたい」がございます。
お問い合わせを頂きましたら、お客様の「ご用途・ご要望・使用環境・問題点など」をお伺いした後、お客様に合うご提案をご案内いたします。
お客様のご要望の性能を選定するのは勿論のこと、お客様の使い勝手を重要視し、必要に応じて加工部品やオプション部品を追加して機能性を高めることも行っております。
ひとつの条件の違いで提案内容が大きく変わりますので、丁寧なヒアリングを心掛けております。
弊社では「真空ポンプや計測器の選定」「フィルター」「金属加工」「リーク検査」「真空装置(真空容器)」「リーク検査」について長年関わってきたスタッフが在籍しているため、様々な視点を考慮した対応が可能です。「部品加工」に関しましても、お客様の目的に合わせたオリジナルの部品の製作も行っております。
■参考例：真空ポンプ排気ユニットの選定を行う場合
「真空ポンプの選定」+「吸気口or排気口フィルターの選定」+「騒音・振動対策」+「真空計の選定」+「バルブや配管部品の選定」+「メンテナンス性向上のためのアイデア」等の装置周辺一式の提案が可能です。
既設の真空システムをお持ちのお客様から、これから設備を導入しようとしているお客様まで、各所より様々なお問い合わせ頂いております。
何かお困りごとがございましたらお気軽にご相談ください。
真空装置に欠かせない真空機器。弊社はお客様のご要望、ご事情、設置条件、課題等を踏まえ、様々なメーカーの中から最適な製品が見つかるよう真空機器の選定を行っております。
真空機器の選定はカタログに記された性能と価格だけで決まるものではなく、例えば「毒性・腐食性・爆発性のガスを排気する用途にポンプや計器の適合性」、「製造プロセスの副産物である固形物・粉塵・生成物・水分がポンプと周辺機器与える影響への考慮と対策」、「排出するガスや騒音などの環境面への配慮」、そして最も重要な「導入後の使い勝手と消耗品や整備のランニングコスト」など、真空機器を選ぶ上で考慮すべき要素は多岐に渡ります。
弊社はお客様の設備との相性を重視した機器選定をメーカー問わず行います。また、お客様がご使用されている設備で性能への不満や頻繁なメンテナンスといった問題を抱えているようであれば、その改善の選択肢になり得るご提案をできるよう精一杯努めて参りますので、お気軽にお問い合わせください。
弊社が見積対応及び販売をしている真空機器の一例です。
大気圧からの減圧に欠かせない真空ポンプです。スパッタ・蒸着・MBE・CVD・ALDなどの半導体や電子デバイス向けの成膜装置をはじめ、分析装置・真空熱処理炉・真空乾燥機・グローブボックス等の真空を用いたあらゆる産業用装置に搭載されています。
大きな分類として、ローターの回転によって取り込んだ空気を油膜でシールし排気口まで運ぶ構造の「ロータリーポンプ(油回転ポンプ)」と、ガスを排気する経路にオイルを用いないことでクリーンな排気が得られる「ドライ真空ポンプ」があります。
ドライポンプの中には隔膜の上下運動で排気を行う「ダイヤフラムポンプ」、ボルトのような螺旋状の凹凸をもつローターを2本並べ、その隙間のクリアランスを利用して排気をする「スクリュー型ポンプ」、繭形の旋回翼の回転によって排気をする部屋が5～6ステージ連続で連なる「多段ルーツ式ポンプ」、ローターの偏心運動で吸引と排出を繰り返す「スクロールポンプ」などがあります。
その他に、水の噴射により空気の引き込みとシールを実現する「水封式ポンプ」や、これらの真空ポンプの上段に設置することで更に大きな排気速度が得られる「メカニカルブースターポンプ」などがあります。
分子流という風のようなガスの流れが存在しない圧力帯域で、ガスの分子が吸気口へ偶然飛んでくるのを待ち続けトラップをすることで排気を行う高真空領域用の真空ポンプです。成膜装置をはじめ電子顕微鏡(SEM)などの分析装置や、より低い圧力が求められる装置や設備で活躍します。高真空用のポンプは大気圧下での単独運転はできないため低真空用ポンプと組み合わせて使用されます。
今や高真空用ポンプの主流である「ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)」、油膜を傘状に噴射し排気を行う「油拡散ポンプ(ディフュージョンポンプ)」、排気速度が大きく水や軽いガスの排気特性に優れる「クライオポンプ」、チタン原子が浮遊するガス分子を捕らえて電極に引き込む作用を応用して超高真空領域の圧力を作り出す「イオンポンプ」や「ゲッターポンプ(チタンサブリメーションポンプ)」など様々な種類があります。
真空計とは負圧用の圧力計です。絶対圧をデジタル表示する製品が主流ですが、 製造メーカーと種類が多彩で装置との相性や寿命、定期的な校正の必要性など考慮すべき点が多い計器です。
大気圧から1Pa以下を測る真空計の代表格である「ピラニゲージ」、ピラニゲージより精度が落ちるものの安価な「サーモカップルゲージ(熱電対真空計)」、ピラニゲージを越える高い測定精度と耐久性を有した「コンベクトロンゲージ」、測定領域は狭いがガス種や比率の影響を受けずに絶対圧を高精度に測定する「キャパシタンスマノメータ(ダイヤフラムゲージ)」、圧力の違いで水晶の振動数が変化することを圧力測定に応用した「クリスタルゲージ(水晶式真空計)」、高真空を測定する「イオンゲージ(熱陰極電離真空計)」、イオンゲージの欠点であるフィラメント断線のリスクが無い「コールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)」、低真空と高真空の2つの真空素子が1つのゲージヘッドに収まった「コンビネーションゲージ」、最後に針で大気圧か負圧かを示すブルドン管ゲージなど、目的に合わせて使い分けできる様々な真空計を扱っています。違いが分かりにくい製品ですので、選び方が分からない場合はご相談ください。
ガスの分析計は、高真空に減圧された分析管の中でガスをイオン化し、個々の質量別のイオン電流値を検出することで、何のガスがどれだけあるのか調べることができます。これを応用したガス分析計や漏れ検査機が商品化されています。
四重極型質量分析計(Q-MASS)は、無機ガスがどの程度存在するのかを調べる用途に向いています。複雑な分子構造のガスはイオン化の過程でHやCに分離されてしまうため相談が必要です。ヘリウムリークディテクタはヘリウムに特化したガス分析計でヘリウムの漏れやすさを利用したリーク検査に重宝します。
真空設備に欠かせない真空専用のバルブです。プロセス室と真空ポンプの間を締め切ったり、開度調整により圧力をコントロールするバルブ、ガス導入用のリークバルブなど種類と用途は様々です。
細い口径で一般的な「アングルバルブ」、低真空と高真空の排気を切り替えできる「三方弁」、大きな口径の開閉や開度調整が得意な「バタフライバルブ」と「ゲートバルブ」、圧力を調圧する「圧力コントロールバルブ」、初期排気時の粉塵の巻き上げを抑制する「スロー排気バルブ」、プロセスガスを流すための「ガス導入バルブ」・真空破壊をするための「リークバルブ(ベントバルブ)、ロータリーポンプの停止時のオイル逆流を自動で防ぐ「アイソレイトバルブ(自動リークバルブ)」・低真空での使用に用途が限られる「真空用ボールバルブ」、小口径の開閉や流量調整に向いている「ダイヤフラムバルブ」があります。
真空ポンプは空気と共に固形物や液体など異物を吸い込む可能性があります。トラップやフィルターはポンプの故障や性能低下を防ぎ、メンテナンスサイクルを伸ばすことに貢献します。
異物の吸い込み対策に「真空フィルター(ダストフィルター)」、水や液の吸い上げ防止の「液体トラップ」、気化して飛んでくる水分を凍らせて捕まえる「冷却トラップ」や「液体窒素トラップ」、ロータリーポンプのオイルが蒸発し装置側へ逆拡散して汚染することを防ぐ「フォアライントラップ」、ロータリーポンプの排気口の排煙をカットする「オイルミストトラップ」、大気ベントの際に異物をフィルターする「ベントラインフィルター」や排気音を軽減する「消音サイレンサー」など真空装置におけるフィルターと言っても様々な製品を取り扱っております。
真空装置の内部に、動力・電力・冷却水などを導入するフィードスルーを販売しております。装置の中を目視するためのビューポート(覗き窓)も導入機の仲間です。
真空装置の外から中に動力を伝えシャッターを動かしたり、部品の受け渡しを行う「回転導入機」「直線導入機」「LR導入機」の他に、電力や信号をやりとりする「電流導入端子」、温度センサーでとしての「熱電対」、冷却水を導入する「水導入端子」などを取り扱っています。
真空装置を構成するための必需品です。低真空のプロセスから超高真空の用途にかけて様々に規格の配管部品を使い分ける必要があります。その他、オイルやグリスも取り扱っております。
真空フランジ(ICF・JIS・ISO)・変換フランジ・各種アダプタ・ビューポート・開閉ハッチ・フレキシブルチューブ・ベローズ・ガスケット・Oリング・真空ポンプ用オイル・真空グリス・その他
真空装置を構成するチャンバーから各種電源や、プロセスガス導入用のガス系部品に至るまで扱っております。装置販売の経験も活かし、各種真空装置のご相談も承ります。
真空チャンバー(特注)・DC電源・RF電源・高圧ガス用継手(Swagelok・VCR相当品)・圧力調整器(減圧弁)・マスフローコントローラ・ヒーター類
スパッタ装置・蒸着装置・ALD装置(原子層堆積装置)・排気ユニット・ヘリウムリーク検査設備など特注の真空装置
購入希望の製品や部品などありましたら、「お問い合わせフォーム」よりご連絡ください。
お客様のご要望をお伺いしたうえで、見積書を発行致します。
また、上記取扱一覧に記載されていない製品や部品に関しても、お気軽にお問い合わせください。
