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真空機器・関連部品の販売について

真空ポンプ

真空機器について

 真空装置に欠かせない真空機器。弊社はお客様のご要望、ご事情、設置条件、課題等を踏まえ、様々なメーカーの中から最適な製品が見つかるよう真空機器の選定のご相談から販売までを手掛けております。


 真空機器の選定はカタログに記された性能と価格だけで決まるものではなく、例えば「毒性・腐食性・爆発性のガスを排気する用途にポンプや計器の適合性」、「製造プロセスの副産物である固形物・粉塵・生成物・水分がポンプと周辺機器与える影響への考慮と対策」、「排出するガスや騒音などの環境面への配慮」、そして最も重要な「導入後の使い勝手と消耗品や整備のランニングコスト」など、真空機器を選ぶ上で考慮すべき要素は多岐に渡ります。


 弊社はお客様の設備との相性を重視した機器選定をメーカー問わず行います。また、お客様がご使用されている設備で性能への不満や頻繁なメンテナンスといった問題を抱えているようであれば、その改善の選択肢になり得るご提案をできるよう精一杯努めて参ります。お気軽にお問い合わせください。



主な取扱可能製品

弊社が見積対応及び販売をしている真空機器の一例です。


1.真空ポンプ(低真空用ポンプ)

真空ポンプ1

製品説明

大気圧からの減圧に欠かせない真空ポンプです。スパッタ・蒸着・MBE・CVD・ALDなどの半導体や電子デバイス向けの成膜装置をはじめ、分析装置・真空熱処理炉・真空乾燥機・グローブボックス等の真空を用いたあらゆる産業用装置に搭載されています。


低真空用ポンプの種類

大きな分類として、ローターの回転によって取り込んだ空気を油膜でシールし排気口まで運ぶ構造の「ロータリーポンプ(油回転ポンプ)」とガスを排気する経路にオイルを用いないことでクリーンな排気が得られる「ドライ真空ポンプ」があります。


ドライポンプの中には隔膜の上下運動で排気を行う「ダイヤフラムポンプ」、ボルトのような螺旋状の凹凸をもつローターを2本並べて配置しローター同士の隙間を使い排気することで異物や生成物への耐性が強い「スクリュー型ポンプ」、繭形の旋回翼の回転によって排気をする部屋が5~6ステージ連続で連なる「多段ルーツ式ポンプ」、ローターの偏心運動で吸引と排出を繰り返す「スクロールポンプ」などがあります。


その他に、水の噴射により空気の引き込みとシールを実現する「水封式ポンプ」や、これらの真空ポンプの上段に設置することで更に大きな排気速度が得られる「メカニカルブースターポンプ」などがあります。



2.真空ポンプ(高真空・超高真空用ポンプ)

真空ポンプ2

製品説明

分子流というガスの流れが存在しない圧力帯域で、ガスの分子が吸気口へ偶然飛んでくるのを待ち続けトラップをすることで排気を行う高真空領域用の真空ポンプです。成膜装置をはじめ電子顕微鏡(SEM)などの分析装置や、より低い圧力帯での真空処理が求められる装置で活躍します。高真空用のポンプは大気圧下での単独運転はできないため低真空用ポンプと組み合わせて使用します。


高真空・超高真空用ポンプの種類

今や高真空用ポンプの主流である「ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)」、油膜を傘状に噴射し排気を行う「油拡散ポンプ(ディフュージョンポンプ)」、排気速度が大きく水や軽いガスの排気特性に優れる「クライオポンプ」、チタン原子が浮遊するガス分子を捕らえて電極に引き込む作用を応用して超高真空領域の圧力を作り出す「イオンポンプ」や「ゲッターポンプ(チタンサブリメーションポンプ)」など様々な種類があります。



3.真空計

真空計

製品説明

真空計とは負圧用の圧力計です。絶対圧をデジタル表示する製品が主流ですが、 製造メーカーと種類が多彩で装置との相性や寿命、定期的な校正の必要性など考慮すべき点が多い計器です。


真空計の種類

大気圧から1Pa以下を測る真空計の代表格である「ピラニゲージ」、ピラニゲージより精度が落ちるものの安価な「サーモカップルゲージ(熱電対真空計)」、ピラニゲージを越える高い測定精度と耐久性を有した「コンベクトロンゲージ」、測定領域は狭いがガス種や比率の影響を受けずに絶対圧を高精度に測定する「キャパシタンスマノメータ(ダイヤフラムゲージ)」、圧力の違いで水晶の振動数が変化することを圧力測定に応用した「クリスタルゲージ(水晶式真空計)」、高真空を測定する「イオンゲージ(熱陰極電離真空計)」、イオンゲージの欠点であるフィラメント断線のリスクが無い「コールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)」、低真空と高真空の2つの真空素子が1つのゲージヘッドに収まった「コンビネーションゲージ」、最後に針で大気圧か負圧かを示すブルドン管ゲージなど、目的に合わせて使い分けできる様々な真空計を扱っています。

 



4.ガス分析計・計測機器

ヘリウムリークディテクタ01

製品説明

ガスの分析計は、高真空に減圧された分析管の中でガスをイオン化し、個々の質量別のイオン電流値を検出することで、何のガスがどれだけあるのか調べることができます。これを応用したガス分析計や漏れ検査機が商品化されています。


ガス分析計・計測機器の種類

四重極型質量分析計(Q-MASS)は、無機ガスがどの程度存在するのかを調べる用途に向いています。複雑な分子構造のガスはイオン化の過程でHやCに分離されてしまうため相談が必要です。ヘリウムリークディテクタはヘリウムに特化したガス分析計でヘリウムの漏れやすさを利用したリーク検査に重宝します。



5.真空バルブ

バルブ

製品説明

真空設備に欠かせない真空専用のバルブです。プロセス室と真空ポンプの間を締め切ったり、開度調整により圧力をコントロールするバルブ、ガス導入用のリークバルブなど種類と用途は様々です。


真空バルブの種類

細い口径で一般的な「アングルバルブ」、低真空と高真空の排気を切り替えできる「三方弁」、大きな口径の開閉や開度調整が得意な「バタフライバルブ」と「ゲートバルブ」、圧力を調圧する「圧力コントロールバルブ」、初期排気時の粉塵の巻き上げを抑制する「スロー排気バルブ」、プロセスガスを流すための「ガス導入バルブ」・真空破壊をするための「リークバルブ(ベントバルブ)、ロータリーポンプの停止時のオイル逆流を自動で防ぐ「アイソレイトバルブ(自動リークバルブ)」・低真空での使用に用途が限られる「真空用ボールバルブ」、小口径の開閉や流量調整に向いている「ダイヤフラムバルブ」があります。

 



6.フィルター・トラップ類

フィルター1

製品説明

真空ポンプは空気と共に固形物や液体など異物を吸い込む可能性があります。トラップやフィルターはポンプの故障や性能低下を防ぎ、メンテナンスサイクルを伸ばすことに貢献します。


フィルター・トラップの種類

異物の吸い込み対策に「真空フィルター(ダストフィルター)」、水や液の吸い上げ防止の「液体トラップ」、気化して飛んでくる水分を凍らせて捕まえる「冷却トラップ」や「液体窒素トラップ」、ロータリーポンプのオイルが蒸発し装置側へ逆拡散して汚染することを防ぐ「フォアライントラップ」、ロータリーポンプの排気口の排煙をカットする「オイルミストトラップ」、大気ベントの際に異物をフィルターする「ベントラインフィルター」や排気音を軽減する「消音サイレンサー」など真空装置におけるフィルターと言っても様々な製品を取り扱っております。



7.導入機

導入機

製品説明

真空装置の内部に、動力・電力・冷却水などを導入するフィードスルーを販売しております。装置の中を目視するためのビューポート(覗き窓)も導入機の仲間です。


導入機の種類

真空装置の外から中に動力を伝えシャッターを動かしたり、部品の受け渡しを行う「回転導入機」「直線導入機」「LR導入機」の他に、電力や信号をやりとりする「電流導入端子」、温度センサーでとしての「熱電対」、冷却水を導入する「水導入端子」などを取り扱っています。



8.真空配管部品・消耗品

フレキシブルホース

製品説明

真空装置を構成するための必需品です。低真空のプロセスから超高真空の用途にかけて様々に規格の配管部品を使い分ける必要があります。その他、オイルやグリスも取り扱っております。


真空配管部品・消耗品の種類

真空フランジ(ICF・JIS・ISO)・変換フランジ・各種アダプタ・ビューポート・開閉ハッチ・フレキシブルチューブ・ベローズ・ガスケット・Oリング・真空ポンプ用オイル・真空グリス・その他



9.その他、装置構成部品・真空装置

圧力調整器

製品説明

真空装置を構成するチャンバーから各種電源や、プロセスガス導入用のガス系部品に至るまで扱っております。装置販売の経験も活かし、各種真空装置のご相談も承ります。


その他、装置構成部品・真空装置の種類

真空チャンバー(特注)・DC電源・RF電源・高圧ガス用継手(Swagelok・VCR相当品)・圧力調整器(減圧弁)・マスフローコントローラ・ヒーター類

スパッタ装置・蒸着装置・ALD装置(原子層堆積装置)・排気ユニット・ヘリウムリーク検査設備など特注の真空装置




主な取扱メーカー

弊社の主な取扱メーカーの一例です。


【真空機器総合メーカー(真空ポンプ・真空計・バルブ・継手・関連部品)】

ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)・エドワーズ(EDWARDS)・アルバック(ULVAC)・キヤノンアネルバ(ANELVA)・大亜真空(DIAVAC)・佐藤真空(PHIL)

 

【真空ポンプメーカー】

大阪真空機器製作所(OSAKA VACUUM)・島津製作所(SHIMAZU)・樫山工業(KASHIYAMA)・荏原製作所(EBARA)・神港精機(SHINKO SEIKI)・アルバック機工(ULVAC KIKO)・アネスト岩田(ANEST)・アジレントテクノロジー(Agilent)※旧:バリアン・大晃機械工業(TAIKO)・ブッシュ(BUSCH)・ライボルト(Leybold)

 

【真空計メーカー】

インフィコン(INFICON)・エム・ケー・エス(MKS)・岡野製作所(OKANO)・アンペール(ampere)

 

【真空バルブ・真空継手・オイルメーカー】

VAT(バルブ・継手)・フジ・テクノロジー(バルブ)・コム(バルブ・継手)・バックスSEV(フランジ・継手・ICFガスケット)・大阪ラセン管工業(フレキ)・ソルバーグ(真空フィルター)・松村石油(ポンプ用オイル・シール類)

その他多数のメーカー様

 

※各メーカーの分類は代表的な商材を基準に表記しております。


当社おすすめ製品

おすすめ製品

今後弊社がお勧めしたい製品を掲載して参ります。

  

完成次第、順次掲載を予定しております。

ご注文方法

購入希望の製品や部品などありましたら、「お問い合わせフォーム」よりご連絡ください。

お客様のご要望をお伺いしたうえで、見積書を発行致します。

また、上記取扱一覧に記載されていない製品や部品に関しても、お気軽にお問い合わせください。