真空機器の販売・真空ポンプ修理や電源修理・電子部品設計・リークディテクタレンタルは株式会社ソナスリンクへ
弊社は薄膜製造装置であるスパッタリング装置や蒸着装置などの成膜室で使用している防着シールドやシャッター類のブラストによるクリーニングを承っております。
防着板への薄膜の堆積は、高真空領域における到達圧力を悪化させる要因にもなり、また厚く成長した膜が、何らかの拍子に割れたり剥がれると、膜の破片がウェハーや成膜サンプル、またはターゲット(成膜材料)に付着し、成膜した成果物の品質に影響を及ぼすリスクが考えられます。その他にも、剥がれた落ちた膜の破片が各種のセンサーやバルブの弁座に付着したり真空ポンプに吸い込まれることで様々なトラブルに発展することが考えられます。
このような性能の悪化や、故障といったトラブルを起こさないためにも、成膜室のシールドや基板ホルダ、シャッター類は定期的に再ブラスト処理によるクリーニングを行うことがシステムの状態を維持する上で必要とされます。
お問い合わせの際は、部品の形状、数量、堆積物の材質といった情報が必要になりますのでお問い合わせください。
また真空装置の構成部品に対して部分的なメンテナンスや修理、改造、機器の載せ替えなど、お客様の抱える装置の諸問題に応える各種サービスも実施しております。
詳しくはお問い合わせください。
ブラスト処理・真空装置構成部品のメンテナンスに関するご相談は「修理・メンテナンスのお問い合わせ」より弊社までご連絡ください。
お問い合わせ内容の確認後、できるだけ早く担当者からご連絡いたします。
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