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真空ポンプ修理


真空ポンプの修理と総合サポートをご提供


真空ポンプの修理について

弊社ではアルカテル(現・ファイファーバキューム)・エドワーズ・アルバック・樫山工業・荏原製作所・ライボルト等の各メーカーの真空ポンプに関する修理やオーバーホールを行っております。
ポンプの状態、ご要望、問題点を専門知識を有するスタッフが詳しくお伺いし、状況によって修理工場への輸送またはお客様の現場に出張して修理を行います。

対象の真空ポンプはロータリーポンプに限らずドライ真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ等です。
とりわけエドワーズ・アルカテル(アディクセン)のロータリーポンプは、修理対応が早いと評判を頂いております。
また、ターボ分子ポンプ(TMP)は各メーカーに対応しており、旧モデルのターボ分子ポンプの整備も一部可能です。


また、出張による現場での修理は持ち運びが難しい大型のロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ、クライオポンプ等になります。



修理やメンテナンスの総合的なサポートを実施

弊社では真空ポンプのメンテナンスについて、設備のダウンタイムをいかに最小限に留めることができるかに重きを置いた提案を行っております。ポンプの種類や型式によっては、代替品(貸出機)の手配やエクスチェンジ(整備済み品との交換)の提案、前述の現地オーバーホールサービスを駆使します。


お客様の所在地によっては、ポンプの引き取り訪問や装置からの取り外し作業にも対応します。整備後の納品及び取付時には、弊社のヘリウムリークディテクタを使っての気密検査を行っての引き渡しも可能です(出張・作業費は都度お見積)。


また、商談や分解調査の過程で、お客様のポンプの修理が困難または費用対効果的に修理が現実的ではないと判断した場合には、新品や中古品のポンプへの置き換えも踏まえた多角的な提案を行い、お客様にとって満足度が高まるような総合的な修理サービスの提供に努めております。



修理実績の例

弊社では、お客様の状況や要望を把握した上で、真空ポンプの修理やメンテナンスを承ります。「ポンプの状況を確認した上で修理を依頼したい」「設備を長時間止めるわけにはいかない」「機種が古いが修理対応は可能か」「メーカーよりも短期間で直してほしい」など、様々なご相談に対応しております。


□過去の修理対応例(取引先:大学・研究機関・一般企業など)

・アルカテル・エドワーズ・アルバック等 各社ロータリーポンプのオーバーホール

・国内メーカー製ドライ真空ポンプのオーバーホール(CVDやALDプロセス用)

・海外メーカー製スクロールドライポンプのベアリング及びチップシール交換

・国内メーカー製クライオポンプの現地オーバーホール、アドソーバ交換

・ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプのオーバーホール

・大阪真空機器製作所のターボ分子ポンプ用のオーバーホール(脱着作業含む)

・某社製ターボ分子ポンプ用コントローラの修理(電子部品の交換により復旧)

・真空ポンプの不調の調査(結果的にポンプではなく配管リークを発見) 他




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真空ポンプ整備の必要性

真空ポンプは使用条件や運転時間あるいは設置環境によっての差はありますが、性能を維持するためには定期的にメンテナンスを必要とする設備です。


原則として性能を維持するために、ユーザー様では説明書に定められた日常点検と日常メンテナンスが必要です。クリーンなガスしか排気しない条件であっても、大気中の水分がポンプ内で凝縮液化することで排気能力の低下や錆の原因になり得ます。ベアリングや摺動部品は時間と共に摩耗することで異常振動や過負荷の原因となります。


スパッタリング装置や蒸着装置などPVDと呼ばれる成膜装置で使われる真空ポンプは、ライトプロセスの恩恵を受けるため構成部品が腐食するリスクは低く、重故障に至る頻度は少な目ですので、定期的に通常メンテナンスを行えば大事に至ることは少ないです。一方でCVD装置・エッチング装置・ALD装置などのハードプロセスに使われる真空ポンプは、毒性ガス・腐食性ガス・可燃性ガス・溶剤・前駆体など反応性ガスを吸引し生成物も発生しやすい過酷な条件での運転が避けられないため、メンテナンスの頻度を守る事が重要で、かつ整備費用も高額になる傾向にあります。

ハードプロセスで使われる真空ポンプの場合は、ロータリーポンプの例では潤滑油が劣化し、シール性能や油膜による保護効果が落ちてローターやステーター等の構造物が傷ついたり腐食するリスクが考えられます。

反応性ガスの一部はポンプ内で圧縮されることで生成物を発生させたり、ポンプ停止後に大気成分(酸素や水分)と反応した残留ガスが生成物となり、摺動部を固着させたり抵抗になるなど、真空ポンプにとって様々な悪影響がもたらすことがあります。


このようにポンプに故障を来す要因は様々ありますが、不具合の兆候として「到達圧力の悪化」「排気時間増加」「温度上昇」「動作音の変化」「異常振動」「オイルの変色」「各種アラーム」として出ているにも関わらず放置をしてしまうと、いづれは大きな故障へと発展してしまいます。重大故障や高額な整備が必要となる前に、一定の運転時間ごとに定期メンテナンスをする必要があります。

調子が悪い真空ポンプは、お客様の製品の品質や製造プロセスに悪影響を及ぼす可能性がありますので、真空ポンプの状態はできるだけ把握することに努め、平行して整備計画や概算でも整備費用を把握して頂く必要性があると考えられます。




ポンプ不調のサインをお知らせください

日頃お使いになっている真空ポンプに関して次の症状はありませんか?


1) 真空ポンプの到達圧力が悪くなって改善しない。
2) オイルが漏れているが性能は出ている。
3) 運転音や振動が以前より大きくなった。または異音がする。

これらの真空ポンプの性能低下や異常を感じた場合は一度ご相談ください。ポンプの小さな異変を放置することで、重故障に至り整備費用が高くついたり、廃棄せざるを得ない状態に陥ったポンプは数多く見て参りました。


どんなに高額な真空ポンプでも過負荷や異常な状態で使い続ければ、整備の際には標準交換部品以外の部位(ローター・ステーター・ケーシング・シャフト等)がダメージを受けたり異常摩耗することで整備費用が高額になる故障に発展しますので、日頃からのポンプの状態を気に掛けて頂ければ幸いです。



ポンプ延命化のアイデアを提案

弊社では真空ポンプの種類によりますが、メンテナンスサイクルを伸ばす効果が見込める真空フィルタ(ダストフィルタ)や各種トラップの設置提案や、ロータリーポンプから排出されるオイルミストを高効率で捕集し環境汚染を低減するオイルミストフィルタの設置提案も行っております。ドライスクロールポンプから発生するチップシール粉の飛散防止に効果のあるフィルターや排気音を軽減するサイレンサーも販売しております。
お客様の真空ポンプと使用環境を確認した上で、最適なフィルターの選定が可能です。ポンプが異物を吸い込んで性能低下を起こしているお客様は、お気軽にお問い合わせください。





対応可能な真空ポンプとメーカー

弊社は下記のメーカーの真空ポンプの修理とメンテナンスに対応しております。



油回転ポンプとも呼ばれ、真空ポンプとしては古くから活躍しています。回転軸のシール部からのオイル漏れや、ベーンなど摺動部の摩耗やオイルの劣化に起因した不具合によって修理扱いとなるパターンが多いです。メンテナンス用のパーツが外販されているケースが多く、比較的パーツが入手しやすいため、メーカーに限らずとも整備する事が可能です。


対応可能メーカー・製品一例 (五十音順)

【ロータリーポンプ】

・アルカテル(ALCATEL) ※ 現・ファイファーブランド

 →パスカルシリーズ 2021SD、2063SD、C1・C2モデル 他

・アディクセン(adixen) ※ 現・ファイファーブランド

・アルバック(ULVAC)

 →VSシリーズ VS2401 他

 →PKSシリーズ PKS-070 他

・アルバック機工(ULVAC KIKO)

 →GLDシリーズ GLD-201 他

・エドワーズ(EDWARDS)

 →EMシリーズ E2M40、E2M80 他

 →RVシリーズ RV8、RV12 他

・大阪真空機器製作所(OSAKA VACUUM)

・神港精機(SHINKO SEIKI)

・大亜真空(DIAVAC)

・徳田製作所(TOKUDA) ※ 現・芝浦エレテック

・ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)

・ライボルト(Leybold)

 →SVシリーズ SV200 他

・その他



ロータリーポンプOH






ドライポンプは基本的にガスの流路にオイル成分が使われていないポンプです。ダイヤフラムポンプをはじめとした一部のポンプを除き、セルフメンテナンスは基本的にできない機種が多くを占めます。メーカーや機種によっては整備用の部品が外販されておらず、製造元のメーカー戻すしか修理の手段がない場合もございます。詳しくはご相談ください

対応可能メーカー・製品一例 (五十音順)

【ドライポンプ】

・アディクセン(adixen) ※ 現・ファイファーブランド

・アルバック(ULVAC)

・エドワーズ(EDWARDS)

 →QDPシリーズ QDP80 他

・荏原製作所(EBARA)

 →ESRシリーズ ESR80WN 他

・樫山工業(KASHIYAMA)

 →SDEシリーズ SDE90、SDE120、MU100 他

・キヤノンアネルバ(Canon anelva)

 →Vシリーズ V090S 他

・ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)

・ブッシュ(BUSCH)


【ドライポンプ(スクロールポンプ)】

・アジレントテクノロジー(Agilent) ※・バリアンブランド

 →PTSシリーズ PTS300、PTS600 他

・アネスト岩田(ANEST)

 →ISPシリーズ ISP-250、ISP-500 他

・アルバック機工(ULVAC KIKO)

・エドワーズ(EDWARDS)

・ブッシュ(BUSCH)







ターボ分子ポンプは回転軸がベアリング式のものと、磁力で回転翼を浮き上がらせて回転させる磁気軸受式があります。特にベアリング式のターボ分子ポンプは運転時間に応じて整備が必要となります。

ベアリング式のターボ分子ポンプはベアリングが劣化することで異音の発生原因になることがあります。ベアリングの劣化から軸のブレが発生すると最悪の場合は旋回翼とケーシングが接触し、羽が粉々に砕けて修理不能な重大故障に至るリスクを抱えています。日頃の運転で性能上は問題が無いと思っても、規定時間での定期オーバーホールが求められます。

磁気浮上式のターボ分子ポンプは、メンテナンスフリーとされている機種が多く、何年も連続運転することも可能ですが、どちらかというと制御用のTMPコントローラの電子部品が先に故障してポンプが動かなる事例が、トラブルコールの一定数を占めます。弊社ではコント―ラ単体の修理についても受付しておりますので、お困りの際はお声かけください。


対応可能メーカー例 (五十音順)

【ターボ分子ポンプ】

・アジレントテクノロジー(Agilent) ※・バリアンブランド

・アルバック(ULVAC)

・エドワーズ(EDWARDS)

・大阪真空機器製作所(OSAKA VACUUM)

・島津製作所(SHIMAZU)

・ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)

・ライボルト(Leybold)








〔MBP〕メカニカルブースターポンプ・〔DP〕油拡散ポンプ・〔CP〕クライオポンプなどの各種のポポンプの理対応・定期メンテナンス・整備方法などのご相談をお受けしております。これらのポンプも整備可能です。機種や条件によっては現地オーバーホールが可能な場合があります。

クライオポンプは温度が下がらないことでの排気性能の低下、コンプレッサーに格納されているアドソーバが経年により濾過性能が悪化し、ヘリウム純度の低下の原因になるトラブルが起きえます。対応可能なメーカーについてはお問い合わせください。

対応可能メーカー例 (五十音順)

【メカニカルブースターポンプ】

・アディクセン(adixen) ※ 現・ファイファーブランド

・アルバック(ULVAC)

・エドワーズ(EDWARDS)

・ファイファーバキューム(PFEIFFER VACUUM)

・ライボルト(Leybold)


【油拡散ポンプ】

・アルバック

・エドワーズ

・神港精機

・大亜真空

・芝浦エレテック

【クライオポンプ】

・キヤノンアネルバ

・アルバック

・CTI(クライオジェニックス)


※様々なメーカーに対応しております。







修理の流れ(標準的な流れ)

商談の流れ

弊社では真空ポンプの修理及びメンテナンスを下記の流れに沿って対応致します。
一点からの修理・メンテナンス相談は勿論のこと、複数のメーカー製品の修理・メンテナンスをまとめてご相談いただくことも可能です。


【修理・メンテナンスなどの流れ】

1. お問い合わせフォームまたは電話でご相談ください。

2. 詳細を電話またはメールで確認し対応方法を検討します。

3. お客様へ事前に概算価格をお伝えするか、

 標準オーバーホールの事前見積書を提出します。

4. お客様からご注文または作業進行の指示を頂きます。

5. 真空ポンプのお引き取りを実施します。

6. 修理工場で分解調査を行います。

7. 正式な金額が判明し、追加費用等が発生する場合は見積書を再提出します。

8. 追加見積に対してお客様のご指示等を頂きます。

9. 整備後に納品致します。作業報告書に対しご検収を頂きます。

10. 納品書とご請求書を提出し完了となります。



真空ポンプの修理・メンテナンスに関するご相談

少しでも長くお手持ちの真空ポンプを正常にご利用頂くため、お使いのポンプに違和感や異常を感じたり、新たにオーバーホールの依頼先をお探しの際は「修理・メンテナンスのお問い合わせ」から弊社までお声かけください。真空ポンプに関する販売・修理・各種トラブルのご相談に数多く対応した経験を持つ担当者が、お客様本位となる提案ができるよう対応して参ります。


お問い合わせ内容の確認後、できるだけ早く担当者から連絡致します。