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弊社では真空フィルターを活用した真空ポンプや機器の保護をご提案しております。装置や機器の仕様にあったフィルターをご案内いたします。
真空フィルターは真空ポンプの吸気配管の途中に設置しポンプを保護するものです。真空ポンプの故障ならびに性能低下を防ぐことができます。弊社は真空ポンプの修理を担っておりますが、故障に至る原因の情報を元に再発防止や延命効果のある各種のフィルターを販売しております。 ハウジングとフィルターの組み合わせのものや、ISO規格の真空フランジに気軽に取り付けできるセンターリングタイプがあります。小口径から大口径の製品を取り扱っております。
・異物の吸引リスクが高い用途のポンプ
・少しの性能低下でも許容されない運用をしているポンプ
・故障時の修理代が高額なポンプ
・故障時の復旧が困難で代替が利かないポンプ
・異物に対して弱いポンプ(粉塵の吸引やケミカル用に設計されていないポンプ)
【吸気口保護網】
一定数の真空ポンプの吸気口には網目の大きなメッシュが標準で備わっています。大きな異物はキャッチできますが、細かいものは通過してしまいます。
【ファインメッシュフィルター】
目の細かいメッシュや焼結金属にフィルターで粉塵、粉体などによるトラブルを防ぎます。 効果の一例としてロータリーポンプの場合には、細かい粉塵の吸い込みは油の潤滑を阻害し、ローターやステーターを少しずつ傷つけ、オイルのシール性に悪影響を与えます。
また、モーターに連なるシャフトに組み込まれたオイルシールを摩耗させ、外部へのオイル漏れの原因になることがあります。こういった悪影響からポンプを守る手段のひとつとして、微細なメッシュのフィルターを設置する効果は高いと言えます。
ドライポンプの事例では、粉体による影響を受けやすいダイヤフラムポンプや、複数のステージで構成される多段ルーツポンプが粉の影響を受けやすい傾向があるためフィルターによる効果が高いと言えます。
真空ポンプを守ることの引き換えに、目の細かさが排気に対して直接的な抵抗となり排気時間を余計に要することになります。
ハウジング容積が大きいフィルターや1Pa台の低真空を狙う用途の場合は、フィルターを構成する素材によっては、素材そのものから発生するアウトガスの影響で到達圧力を悪化させることがあります。 また定期的なフィルターの清掃やメッシュの交換といった手間が発生します。
濾過面積の小さいフィルターエレメントは、当然ながら目詰まり時期が早く到来するため、ユーザー様による日常点検やメンテナンスの意識を高めてご使用頂く必要があると言えます。
弊社は真空フィルター以外にも各種のトラップを販売しております。目的に応じて使い分けの提案をしております。
・オイルミストトラップ
ロータリーポンプは、ガスの排気に伴い大気圧から約100Paの圧力領域で排気口からオイルミスト(油煙)が排出されます。オイルミストによりポンプ周辺またはダクト配管の内壁には多大な油汚れが発生します。オイルミストトラップは油煙を除去し環境対策効果と排気音の低減といった効果が得られます。一部のメーカー純正のトラップでは油煙の除去能力が90%程度のものがありますが、弊社は0.3μmの油煙を99.9%以上濾過できる高性能な濾過フィルターを搭載した製品も販売しております。ポンプの排気速度や形状に応じた多数の商材からベストなものをご提案致します。
・フォアライントラップ
ロータリーポンプによる真空引きは、一見すると真空装置側は真空に引かれているだけというイメージになりますが、二段式のロータリーポンプの作動油は到達圧力に達すると微少ながら蒸発し、真空装置側へ逆拡散します。この現象は「オイルバック」と呼ばれクリーンさが求められる半導体製造装置や成膜装置では製品に影響を与えます。
ベストはオイルバックの現象が存在しないドライポンプへの置き換えですが、予算的に困難な場合はフォアライントラップというセラミックスなど多孔質体の粒を充填したトラップを吸気口に設けることでオイル成分の逆流を抑えることができます。
・冷却トラップ
真空による減圧により装置内部や処理する素材から発生する水分が気化し、真空ポンプに入り蓄積することで悪影響を与えることがあります。冷凍機を搭載した冷却トラップを用いることで真空ポンプに流れてくる気化した水を氷結させるトラップがあります。また、液体窒素を用いた液体窒素トラップも同様の効果が期待できます。
水は真空中では圧力に応じて沸点が下がり気化しやすい特性があります。1Paの平衡蒸気圧は-60℃のため二段式ロータリーポンプのアプリケーションでは、トラップ-60℃以下に冷えれば氷の状態で補足を続けられることになりポンプへの水分の流入は防げます。 冷却トラップは、ロータリーポンプの用途で起きるオイルバックの油煙をトラップし真空装置の清浄度の向上にも貢献します。配管経路に排気の抵抗となるものが無いのもメリットです。
・液体トラップ
真空装置の中には槽内で液体を扱うものも多くありますが、予期せぬトラブルにより誤って真空ポンプへ液体が流れ込んでしまうリスクが存在します。液体トラップは真空容器とポンプの間に設けることで水、薬液、溶剤、洗浄液、塗料、油、調味料などの液体を留めてポンプを保護する効果が期待できます。
・液体トラップ 真空装置の中には槽内で液体を扱うものも多くありますが、予期せぬトラブルにより誤って真空ポンプへ液体が流れ込んでしまうリスクが存在します。液体トラップは真空容器とポンプの間に設けることで水、薬液、溶剤、洗浄液、塗料、油、調味料などの液体を留めてポンプを保護する効果が期待できます。
