真空ポンプ修理や電子部品（トランス）製作・ヘリウムリーク検査は株式会社ソナスリンクへ
弊社では「ドライポンプ」「ロータリーポンプ」「ターボ分子ポンプ」など各種真空ポンプを販売しております。
お客様の使用用途や使用環境をお伺いした上で、使い勝手の良いものを数あるメーカーの中から選定し、最適な真空ポンプをご案内いたします。
「選定」から「販売」はもちろん、状況に応じて「設置」・「入れ替え」・「運用やメンテナンスのご相談」・「不要になったポンプの引き取り」・「配管の加工」など、お客様のご要望に沿うように対応してまいりますので、お気軽にお問い合わせください。
半導体業界や分析装置を中心にガスの流路がオイルフリーでクリーンな排気を実現したロータリーポンプの上位に位置する真空ポンプです。
ドライポンプの中にも様々な方式やメーカー別の特徴があり、同時に弱点もあるために選定の際には必ずプロセスに合った機種を選ぶ必要があります。
【取扱メーカー様】
樫山工業、ファイファーバキューム、アルバック、エドワーズ、荏原製作所、アネスト岩田、アジレントテクノロジー等
| メーカー | 種類 | 型式 | 排気速度50Hz | 到達圧力 | 特徴 |
|---|---|---|---|---|---|
| 樫山工業 | ドライ | NeoDry15E | 250L/min | 1Pa | 高性能で長寿命 |
| 樫山工業 | ドライ | NeoDry36E | 600L/min | 1Pa | 高性能100V型 |
| ファイファー | スクロール | Hiscroll 18 | 300L/min | 0.7Pa | 最新モデル、高性能 |
| アネスト岩田 | スクロール | DVSL-100C | 100L/min | 50Pa | 小型、低予算向け |
| アルバック | ダイヤフラム | DTC-120 | 120L/min | 1000Pa | 溶剤の吸引に強い |
| 樫山工業 | ドライ | SDE120 | 2000L/min | 1Pa | 腐食性ガスに強い |
| 荏原製作所 | ドライ | EV-PA500 | 500L/min | 0.5Pa | 21kgで高性能 |
＊上記以外の製品を含め、多数お取扱い・販売実績がございます。
＊価格や詳しい仕様などはお気軽にお問い合わせください。
ジェットエンジンのような形状のローターが超高速回転をして、ガス分子を下流に叩き落とす構造の高真空用ポンプ。ベアリングの寿命により定期的に整備を要するタイプと、ローターを磁力で浮かせて回転させるメーン手ナンスフリーの磁気軸受け式のターボ分子ポンプが存在します。
【取扱メーカー様】
ファイファーバキューム、ライボルト、アジレントテクノロジー、エドワーズ、大阪真空機器製作所、島津製作所=アルバック
| メーカー | 種類 | 型式 | 排気速度N2 | 到達圧力 | 特徴 |
|---|---|---|---|---|---|
| ファイファー | ターボ | HiPace80 | 67L/sec | -8乗Pa | 小型機の定番 |
| ファイファー | ターボ | HiPace300 | 260L/sec | -8乗Pa | 100Aの配管用 |
| ファイファー | ターボ | HiPace300M | 255L/sec | -8乗Pa | 磁気軸受 |
| ファイファー | ターボ | ATP2300M | 1950L/sec | -7乗Pa | 軽ガス排気用 |
＊上記以外の製品を含め、多数お取扱い・販売実績がございます。
＊価格や詳しい仕様などはお気軽にお問い合わせください。
＊ファイファーバキューム社は世界で初めてターボ分子ポンプを開発したドイツのメーカーであり、圧縮比の高い優れたターボ分子ポンプは軽いガスの排気に有効で最終的な到達圧力が良いと定評があります。日本国内でも修理やオーバーホールが可能な安心してお使い頂けるメーカーです。
ポンプ室にオイルが充填された古くから存在する真空ポンプです。ローターとステーターの隙間に油膜をつくり取り込んだ空気を排出する仕組みです。様々なメーカーから販売されていますが、カタログでは分かりにくい静粛性や動作時の音域の違いが値段に反映されているポンプです。外付オプションが豊富なため用途に合わせて使いこなすことが求められます。
【取扱メーカー様】
ファイファーバキューム、エドワーズ、アルバック、ライボルト、大亜真空、佐藤真空など
| メーカー | 種類 | 型式 | 排気速度50Hz | 到達圧力 | 特徴 |
|---|---|---|---|---|---|
| ファイファー | ロータリー | 2005SD 2005I 2005C1 |
83L/min | 0.05Pa | 小容積の排気用 25kg |
| ファイファー | ロータリー | 2010SD 2010I 2010C1 2010C2 |
150L/min | 0.05Pa | 小型ユニット等に おすすめ、26kg |
| ファイファー | ロータリー | 2015SD 2015I 2015C1 2015C2 |
233L/min | 0.05Pa | 200L前後の 排気速度の ニーズ向け 27kg |
| ファイファー | ロータリー | 2021SD 2021I 2021C1 2021C2 |
300L/min | 0.05Pa | このクラスまで 100Vで動きます 28kg |
| 大亜真空 | ロータリー | GHP-150B | 151L/min | 0.2Pa | 小排気量の機体、30.5kg |
| 大亜真空 | ロータリー | GHP-240B | 242L/min | 0.2Pa | 小排気量の機体、33kg |
| 大亜真空 | ロータリー | GHP-800B | 800L/min | 0.13Pa | 中型800L/minクラス NW40の口径、70kg |
| 大亜真空 | ロータリー | GHP-1301B | 1300L/min | 0.13Pa | 中型1300L/minクラス NW40の口径、92kg |
＊上記以外の製品を含め、多数お取扱い・販売実績がございます。
＊価格や詳しい仕様などはお気軽にお問い合わせください。
＊上記のファイファーバキュームのロータリーポンプとして紹介している製品は、旧・アルカテルバキュームテクノロジー社の製品です。アルカテルは世界で初めてモーター直結型のロータリーポンプを開発した真空機器メーカーで、軽量で静音性に優れている特徴があります。
＊大亜真空のポンプは旧来のモデルと比較し精密加工と精度の向上を図り、低騒音と低振動を実現したポンプです。800Lや1300Lのモデルはポンプ室にサーモラベルが貼り付けられているため、異常昇温した形跡を確認でき安心してお使い頂けます。
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真空ポンプを選定する場合、「到達圧力」や「排気速度」だけで考えるのではなく、用途や設置環境、メンテナンス性など、様々な観点を考慮して選定してまいります。
真空ポンプの選定を間違えると、吸引する成分と愛称の悪い使い方が原因で早期に故障したり、整備の際にローターなど高額な交換部品が発生してしまうということが起きますので、弊社ではお客様からしっかりと聞き取りを行い、用途に対してなるべく耐久性のあるポンプを提案いたします。
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