真空ポンプ修理や電子部品（トランス）製作・ヘリウムリーク検査は株式会社ソナスリンクへ
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スパッタリング装置などのプラズマ真空装置において、プラズマ放電の確認をするためのノブによる回転式のシャッターです。窓ガラスのビューポートはICF70のタイプから選択が可能で、汚れたら交換も容易にできるようになっています。部品コストを下げるため軸シールはシンプルなOリング×2本のシール構造としていますが高真空の領域まで使用は可能です。
おすすめポイント
本来の用途とは異なりますが、真空ポンプの排気配管の途中に装着すると流量調整用のフラッパー(コンダクタンスバルブ)として使用できます。大気圧からの真空排気をはじめた際の急激な圧力変動を抑え、ゆっくりと減圧していき、圧力が下がったら全開にして排気したい用途への応用が可能です。
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上記製品以外の真空チャンバー等、様々な製品を製作しておりますので、何かございましたら、お気軽にお声掛けください。
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